高精度波像差检测室

面向高精度光学元器件及系统的波像差等方面的检测分析。通过在高精度光学元器件方向的检测深耕，指引光学企业在高精度光学方向发展，实现产业结构升级。

主要设备：ZYGO白光干涉仪、激光干涉仪、4D动态干涉仪、12英寸激光干涉仪

主要功能：面向高精度光学元件及系统的波像差等方面检测分析

实验效果：对光学元件表面和系统波前误差进行高精检测，可实现1nm以下面形粗糙度和PV1/20 λ、RMS1/1000 λ的波前误差检测精度，指引光学企业往高精度光学方向发展，实现产品结构升级。