满足自由曲面和非球面测量要求,支持接触式、非接触式各种凹凸形状的高分辨三维形貌测量。国际一流的自由曲面设计团队提供专属设计、测量方案,不断优化自由曲面的参数和应用效果,加速设计成果落地。
主要设备:超高精度三坐标测量机、PGI Freeform接触式光学轮廓仪、Luphoscan非接触式三维面形测量仪、Nanomefos自由曲面光学面形测量仪。
主要功能:满足多种复杂非球面、自由曲面面形的高精度测量要求,包含接触式、非接触式三维面形测量
实验效果:对非球面、自由曲面进行高精度测量,可实现0.1μm的面形测量精度和5nm的粗糙度测量精度,大幅改进和提升相关光学系统的性能指标,加速其推广应用。